低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

低溫泵的特點

1）在結構上對稱布置，使泵在低溫下均勻收縮。為了保持低溫和防止介質泄漏，采用雙殼體的結構。 

2）為了防止摩擦發(fā)熱而導致液化氣汽化而燒壞摩擦面，多采用平衡孔、對稱布置和止推軸承，很少采用平衡盤來平衡軸向力（必要時采用平衡鼓）。

3）為了改善吸入條件、氣體分離、不受氣溫的影響和軸向伸縮，采用立式簡袋泵結構較為有利。

4）在結構上還應避免低溫脆性的影響。

5）軸承應注意低溫的影響，如同間隙大小并適當選取摩擦性能好的材料（如四氟乙烯、石墨等）。

6）軸承應考慮干摩擦的可能并采取防止凍結的措施和啟動的預冷的措施。

7）選用材料時應注意材料的低溫脆性。

8）在使用時應采取保冷、除濕、預冷、防凍等措施